金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种转移结构及半导体工艺设备”的专利最大的证券公司，授权公告号CN222923322U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种转移结构及半导体工艺设备，转移结构包括：转移臂、沿第一方向间隔叠放的至少两个支撑臂和伸缩结构；转移臂与至少一个第一支撑臂通过伸缩结构可伸缩连接，未与转移臂通过伸缩结构可伸缩连接的第二支撑臂与转移臂之间固定连接。本实用新型通过与转移臂可伸缩连接的第一支撑臂，进入不同工艺温度的腔室用不同支撑臂，避免进过高温腔室的支撑臂转移晶圆进入低温腔室时影响低温腔室的工艺而导致加工后的晶圆均匀性差；同时相邻支撑臂之间设置隔热结构，降低支撑臂温度的相互影响；另外伸缩结构与支撑臂通过可拆卸的卡合结构连接，方便支撑臂更换维修；最后设置收缩腔，使第一支撑臂收缩时被隔热，减少其他支撑臂的温度影响。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目169次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息685条，此外企业还拥有行政许可55个。
本文源自：金融界
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